仪器社区

离子溅射仪

当前主题:33
发布主题 厂商产品
离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。离子溅射镀膜要求试样干燥清洁。为了使试样表面清洁,必要时将试样与阴极换位,利用火花放电清洁表面。然后试样复原,再进行溅射镀膜。显然,开始正式溅射镀膜时,要换一个新的阴极。以免清洁试样表面时,沉积在阴极表面的杂质污物,再沉积在试样表面。由于溅射时,溅射室中所填充的气体和阴极溅射原子的作用不同,因而有中性溅射和反应溅射两种。现在离子溅射镀膜,多半是在反应气体存在下进行的,化合物沉积膜的稳定性和光学常数,依赖于气体的类型和阴极材料。常用的反应气体为氧气,常用的阴极材料有铁、镍、铜铅等,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属。

已显示全部信息

发布