离子溅射仪

离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。离子溅射镀膜要求试样干燥清洁。为了使试样表面清洁，必要时将试样与阴极换位，利用火花放电清洁表面。然后试样复原，再进行溅射镀膜。离子溅射仪常用的反应气体为氧气，常用的阴极材料有铁、镍、铜铅等，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属。