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溅射工艺中，离子能量越高，溅射速率越大吗

银麦冬 2015-10-27

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如果离子能量太高，可能渗透进入靶材料的内部，没能撞击出靶原子，反而造成溅射速率的下降。

3 0 2016-06-20 0条评论回复

对

12 0 2015-10-28 0条评论回复

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