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- 空空の爱 2010-04-12 00:00:00
- 沉积速率与诸多因素有关可定性的表示为 q=CSI q为沉积速率,C为常数,S为溅射产额,I为放电电流。凡是影响溅射产额的因素都对沉积速率有影响,溅射产额是个必要条件,诸多因素中,Z主要的有几个: 1、外加功率对沉积速率的影响:阴阳极的距离确定、放电处于反常辉光放电区(电压升高电流加大)条件下,沉积速率与加在阴极上的功率成正比; 2、沉积速率与放电电流的关系:提高放电电流的Z有效途径是适当提高溅射气体压强; 3、基体与阴极靶之间的相对位置:在不影响阴极暗区的前提下,阴阳极间的距离越近,沉积速率越大。(但厚薄均匀性下降,--指靶及基体固定不变时) 4、气体压强对沉积速率的影响:沉积速率与气体压强不是线性关系,低气体压强时,正离子少,溅射产额低,沉积速率低;随气体压强升高,正离子增多,溅射产额提高,沉积速率上升;在某一个气体压强时达到Z大值;继续提高气体压强,沉积速率开始下降。
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- 婉若清扬在路上 2010-04-08 00:00:00
- 沉积速率跟好多因素有关,离子镀的话,一般1微米/小时。(跟靶功率有关系)
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- 强大福星 2016-05-14 04:03:47
- 沉积速率跟好多因素有关,离子镀的话,一般1微米/小时。(跟靶功率有关系) 具体计算方法可以参考: 沉积速率与诸多因素有关可定性的表示为q=CSI q为沉积速率,C为常数,S为溅射产额,I为放电电流。凡是影响溅射产额的因素都对沉积速率有影响,溅射产额是个必要条件,诸多因素中,Z主要的有几个: 1、外加功率对沉积速率的影响:阴阳极的距离确定、放电处于反常辉光放电区(电压升高电流加大)条件下,沉积速率与加在阴极上的功率成正比; 2、沉积速率与放电电流的关系:提高放电电流的Z有效途径是适当提高溅射气体压强; 3、基体与阴极靶之间的相对位置:在不影响阴极暗区的前提下,阴阳极间的距离越近,沉积速率越大。(但厚薄均匀性下降,--指靶及基体固定不变时) 4、气体压强对沉积速率的影响:沉积速率与气体压强不是线性关系,低气体压强时,正离子少,溅射产额低,沉积速率低;随气体压强升高,正离子增多,溅射产额提高,沉积速率上升;在某一个气体压强时达到Z大值;继续提高气体压强,沉积速率开始下降。
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