超声扫描显微镜特点和应用

超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来，可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如：被测物体没有必要透光；对于生物组织切片或样品没有必要染色，能够及时地进行观察；对于大规模集成电路，没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。

超声扫描显微镜特点

不是破坏性的，对于样品没有损坏。有着较高的分辨率，能够对缺陷在样品内部的精确位置进行确定。能够将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反映出来，并且分析从样品内部反馈回来的信号为其主要的特点。图像上的每一个象素和从样品内某一特定深度的一个二维空间坐标点上的信号反馈相对应，机械波可以通过功能良好的传感器进行发射和接收。

超声扫描显微镜在失效分析中的应用

锡球、晶圆或填胶中的开裂晶圆的倾斜各种可能的孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶等）以及晶圆面处分层缺陷。在失效分析中，非破坏性、对材料进行无损检测、能够分层扫描、多层扫描IC芯片内部结构并且能够进行直观的图像分析、测量 缺陷以及统计缺陷面积和数量、能够对材料内部的三维图像进行显示、不会伤害到人体以及能够对裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等各种缺陷进行检测为超声波显微镜的优势。