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超声扫描显微镜现状

超声波扫描显微镜

超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来,可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如:被测物体没有必要透光;对于生物组织切片或样品没有必要染色,能够及时地进行观察;对于大规模集成电路,没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。


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超声扫描显微镜现状

超声扫描显微镜在经过几十年的演变和发展以后,虽然仍仅有比较低的分辨本领然而却可以实时显示。SAM型正在向纵深发展。在对分辨率的提高方面,现在其被美国斯坦福大学在0.2K液氦环境下放置并进行工作,使50纳米的分辨率获得。高压气体被英国C.R.佩茨采用来作为耦合媒质,在30atm压力的氦气中,就使7微米的分辨率获得,一方面透镜理论的分析采用传递函数来进行,在另外一方面,无透镜技术被日本的中钵宪贤发展出来了,微型球面换能器被直接采用。在计量方面像观察鸡胚胎纤维细胞以及对ji薄层状结构的层厚的测量等新应用被获得,对于研究细胞生理学非常有帮助。


超声扫描显微镜工作方式

按接收信息模式包括两种工作方式,分别为反射模式与透射模式。根据扫描方式能够分成C扫,B扫,X扫,Z扫,分焦距扫描,分波长扫描等多种方式。

2007-11-22
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