那诺—马斯特中国有限公司
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NPE-3500型PECVD等离子体化学气相沉积（中宁硅业）
NLD-3000型原子层沉积系统（大连理工）
磁控溅射NSC-3500系统（中科绿谷）
NIE-3500离子束刻蚀机（福州大学）
LSC-5000型双系统全自动无损兆声单晶圆FSI清洗及刻蚀
LSC-4000大基片清洗系统
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