磁控溅射NSC-3500系统（中科绿谷）

磁控溅射NSC-3500系统：为紧凑型独立式PC计算机控制的向下溅射系统，具有DC直流溅射能力。用于Au及Cr金属以及强磁性材料的溅射镀膜。

系统通过Lab View软件和触摸屏进行操作、观察和控制。设备提供完整的安全联锁功能，菜单驱动，可以保存无*的程序，每个程序可根据客户需要设定多步骤。

系统包含状态指示、图形和文字方式的实时显示。4级密码授权访问控制，全自动工艺控制，具有高度的可重复性和优异的控制能力。

Nano-Master磁控溅射的优势

优异的均匀性数据（6”晶圆片上镀金属薄膜）

均匀度测试结果：规格+/-5%，测量6”经验片上的膜厚，镀Ti，Pt和Au，总膜厚2800埃。实际测量结果 <1%。详细数据如下图。