NLD-3000型原子层沉积系统（大连理工）

本次入驻大工的NLD-3000型原子层沉积系统由主机系统、反应腔、前躯体源系统、尾气过滤单元、真空系统、控制系统等组成。设备用于制备原子层级别的金属、金属氧化物、氮化物、氟化物等材料，可在平板衬底、沟槽结构表面实现均匀、致密的三维原子层级别的薄膜。也可应用于材料学、物理学、化学、微电子、光电子、能源、催化、纳米技术等领域。

点开大图，可查看本台设备的性能指标哦！（NM擅长“量身定制”，下图不是标准配置哦，我们可以根据用户的应用确定终的配置方案。）

NLD-3000就位后，NM专业的售后服务工程师即刻安装、调试设备，并对在场师生进行现场培训指导，获得了大家的一致好评，并顺利完成验收！

这是NANO-MASTER*进入大工，期待NM给大工、及各大院校、研究院带来更多高品质设备。