晶圆制造产品列表
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- PVA Munich Metrology - 晶圆表面测量/晶圆表面制备系统
- 品牌：德国PVA TePla
- 型号： WSMS
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- PVA TePla America - 等离子表面清洗系统
- 品牌：德国PVA TePla
- 型号： IoN 3B
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- Filmetrics - 薄膜后度量测仪
- 品牌：美国Filmetrics
- 型号： F20
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- Trymax - 干法刻蚀等离子去胶机
- 品牌：荷兰Trymax
- 型号： NEO200A
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- Jelight - 紫外氧清洗机
- 品牌：美国Jelight
- 型号： Model 18
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- AMP - 无掩模曝光机
- 品牌：美国IMP
- 型号： SF-100XCEL/SF-100XPRESS
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- OAI - 曝光机 / 光源/ 光功率計及分析
- 品牌：美国OAI
- 型号： Model200/212
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- 纳米压印模板
- 品牌：丹麦NIL TECHNOLOGY
- 型号： NIL
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- 气体等离子系统 IoN Wave 10
- 品牌：德国PVA TePla
- 型号： IoN Wave 10
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- 晶圆表面测量/晶圆表面制备系统
- 品牌：德国PVA TePla
- 型号： WSMS,WSPS
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