香港电子器材有限公司
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Trymax - 干法刻蚀等离子去胶机

产品简介

NEO200A 系列

● Hand领
   - Dual Cassette
   - 3 axis robot

● Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

● 100 to 200mm compatible


NEO300A 系列
● Hand领
   - Single Loadport (300mm)
   - 3 axis robot

● Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

● 200 to 300mm compatible


NEO3400 系列
● Hand领
   - up to 4 Loadports (300mm)
   - 4 axis robot with X-traverser

● Chammber Configurations
   - RF Only (13.56MHz)
   - Microwave Only (2.45GHz)
   - Dual Source RF / MW
   - DCP (13.56MHz)

● 200 to 300mm compatible



NEO200A 系列/NEO300A 系列/ NEO3400
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