产品介绍|Diener 常压等离子表面处理设备 Plasma

Diener等离子表面处理设备  

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术者。Diener采用集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的产品，以保证性能技术稳定。

 PlasmaBeam  mini

1. 外尺寸： B 350 mm, H 166 mm, T 300 mm, 重量. 10 kg

2. 喷头直径. φ25 mm, L 150 mm, 重量. 0.5 kg, 线缆 1.5 m

3. 发生器：2,45 GHz/8 W

4. 反应气体：单路Ar

5. 电源：单相100~240V，1.5 A