上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener ZEPTO Plasma 等离子清洗机

2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 为手动型,配有 PC 和 PCCE 控制系统,主要用于以下领域:

系列

Zepto

控制系统

手动型

PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)

PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

体积

1.7~2.6L

真空腔室

圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子
(大约Φ 105 mm, 200 mm 或者长 300 mm

圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子
(大约Φ105 mm, 200 mm 或者长 300 mm

电极

单层或多层

样品支架

铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

气源

针型阀

质量流量控制器 (MFCs)

压力计

Pirani

计时器

数字型

高频电流发生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W

13.56 MHz: 功率 0 - 50 W

真空泵

KASHIYAMA

  • 其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。


13为什么选择等离子清洗?与其他清洗方式相比优点在哪?
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