Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE

控制系统

基于软件WINDOWS 10的PC控制系统

程序存储

100套

工艺过程监控

二维折线图与数字实时显示

参数偏离值设定

初抽真空时间、进气量偏差值，实际功率输出值

报错功能

显示详细的报错信息

数据导入导出

USB/TCP IP

选程控制

Team viewer

工艺气路

两路进气通道（两路腐蚀性气体）

一路冲洗管路

一路泄气管路

流量计

MFC流量计

真空腔体

圆形不锈钢腔体腔体

尺寸：Φ280mm x D 127mm 约8L

腔体可做防腐

托盘

铝板、不锈钢板、硼硅玻璃

电极

RIE(蚀刻专用)电极配有气浴

电极水冷

冷却系统

冷却真空腔体和电极

发生器

13.56 MHz 0-600W 自动匹配

安全开关

门开关、皮拉尼开关、真空开关

真空压力计

2pcs 电容式真空计

外形尺寸(W×H×D)

1800mm×2200mm×1800mm

电源

AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A

真空泵

防腐真空泵抽速不低于90 m³/h

分子泵排气速度

冷却系统

冷水机对真空腔体，电极进行冷却