Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

控制方式

按键操作控制

Windows CE  7”触摸屏操作控制

操作方式

手动

手动/自动

程序存储

—

50组

工艺过程监控

—

二维折线图与数字实时显示

程序偏离值

—

抽真空时间、进气量偏差值，实际功率输出

报错功能

—

显示详细的报错信息

数据导入导出

—

USB

选程控制

—

选配

工艺气路

单路，双路，三路

工艺气体

O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1

流量计

针阀流量计（可选防腐针阀流量计）*1

MFC流量计（可选防腐MFC流量计）*1

冲洗气路

一路

泄气气路

一路

真空计

指针式/0-10mbar

数字式/0-9.99mbar

计时器

0~999.9H

真空腔体

不锈钢圆形腔体

盖子门带观察窗

尺寸Φ190mm x H60mm

容积1.7L

电极

不锈钢气浴RIE电极， Φ160mm

发生器

40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W

外形尺寸（WxDxH）

560 x 600 x 860mm

电源

AC230 V / 16 A

真空泵

排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa

选配功能

托盘冷却,腔体温度监控,冷水纲