真空镀膜及刻蚀设备产品列表
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- 金属有机化合物化学气相沉积
- 品牌:美国Rocky Mountain
- 型号: MOCVD
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- 等离子体辅助原子层沉积系统 PEALD
- 品牌:美国ANRIC
- 型号: AT-400
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- 脉冲激光沉积系统
- 品牌:美国PVD
- 型号: PLD
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- 电子束蒸发系统
- 品牌:美国PVD
- 型号: E-Beam Evaporator System
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- 磁控溅射系统
- 品牌:美国Nano-Master
- 型号: Sputter System
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