脉冲激光沉积系统

※ 适用于沉积多种难以制备的薄膜，如高温超导薄膜、陶瓷 氧化物薄膜、多层金属薄膜等。 

※ 沉积速率高。 

※ 可以精密控制薄膜厚度和成分。 

※ 衬底温度要求低。 

※ 适用于各种靶材。 

※ 选配RHEED在线检测系统。