磁控溅射中各路大神们都在用什么方法测量膜厚，要求精确度在10nm左右

一般使用台阶仪，需要制作掩膜，或者使用油性笔画线，镀膜结束后洗掉线。一般的台阶仪精度极限在50nm左右，小于这个的厚度的薄膜可以使用椭偏仪。但是需要知道镀膜的材料。

TEM看截面就可以

如果透光，可以用椭偏仪，如果是在硬基体上，还可以用台阶仪。