请问哪个学校有能做氮化铝的磁控溅射设备啊？本人在北京科技大学

用AL靶材，在氮气气氛下采用射频磁控溅射就可以做氮化铝啊！详询北京科技大学国重功能材料梯队

西南物理研究院应用技术研究所，他们在刺刀上做过氮化铝，可以工业化生产，你可以找找他们！

为什么非得要学校呢？北京表面处理的企业也很多。我也可以做，我是做太阳能光热的，Z外层是氮化铝或者氧化铝都可以。另外，我所知道的具有磁控溅射设备的Z早的是北大，九几年就有了。沈阳百乐（原真空三厂）做的。如果你需要，把你的材料材质、形状、膜层要求什么的都跟我说说吧。