磁控溅射靶材烧了裂一个口

建议不要使用了，辉光放电倒不会击坏基座，但是它打到基座上的话会轰击出基座上的金属离子，对你镀的膜造成污染。如果不是贵金属的话直接扔掉，如果是贵金属的话重新熔铸吧

很有可能，建议不要用了。如果射靶某个部位溅射出了一个裂口，而别的地方没事，说明磁控靶磁场分布有问题。

看你裂口是怎样的了。
我们的有一个靶材就有裂纹，但是拼上去了，拿的时候不会裂开，照样在用，没有太大问题。
不过，如果你的靶材是要击穿了，建议换一个新的。