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日本真空(ULVAC日本爱发科)ACS-40000-C4磁控溅射机器靶材的背板不锈钢成分?
_mayumeng
2008-05-25
日本真空(ULVAC日本爱发科)ACS-40000-C4磁控溅射机器靶材的背板不锈钢成分?扫描电镜能谱分析结果Cr为17%,推测为SUS430型不锈钢,希望相关方面的专家给予确定?
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豫东一绝1
这个也不一定,由于磁控溅射镀膜机内对各个部件的导磁性要求比较高,有些比较高端的镀膜机可能会用特种钢来做接近样品的部件,我觉得只确定一种成分就确定不锈钢的型号有可能会出现错误。如果这个对你很重要的话,建议你到有关部门,让他们确定一下。
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0
2008-05-26
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