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一组干泵可以给多少个分子泵作前级
猪猪的小鲍鱼
2017-05-15
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vickysyty
可以给N个,只要真空度能满足分子泵的启动背压,但如果干泵停机,回压可能会导致分子泵严重事故。Z好有串联或者并联的前级泵比较安全。并配置止回阀。
19
0
2017-05-16
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