电容位移传感器分辨率Z高能到多少？可以用在精密微动台上吗？帮忙推

分辨率0.01nm吧。
可以用在精密微动台上。
米依有，pi的也有。

电容传感器测量的范围较小，基本微米左右。如果您的微动台行程较大则不适用。
大行程测量一般考虑用光栅尺或者干涉仪。我司的干涉仪就可以到皮米级分辨率。

并且电容传感器对环境要求高，尤其是电噪声干扰等。这是需要注意的。如果有疑问可以问我。

当然是可以的哦！