真空系统设计时，为什么需要预抽泵？直接用前级泵有什么问题吗？

1.如果是扩散泵系统，系统和扩散泵腔不预抽的话，扩散泵一工作大量的气体与扩散泵油结合就会把扩散泵油氧化2.分子泵系统，不预抽的话，直接启动分子泵，由于形成的压力太高会把分子泵叶片损坏（由于分子泵的叶片高速运转并且材质为铝合金）

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真空泵系统的设计选型，一般单级泵如果能达到的抽速、真空度，就优先选单极的。但要更高的真空度和抽速，就需要增压泵。前级泵预抽，达到设定的真空度时启动二级、三级，甚至4级。我们是这样设计的。