求高人指点：真空系统工作原理

根据系统配有高真空计和各阀的名称判断，2真空泵是扩散泵，系统属于高真空机组，因此，图中4高真空阀和1真空室应该是连起来的。工作时先开预抽泵3同时打开低真空阀5和前级阀6，抽到低真空计8测量值到40Pa以下时，开启2扩散泵的加热，预热大概需要50分钟。这期间3预抽泵一直保持抽真空，低真空计8测量值将会持续下降至10Pa以下。待2扩散泵预热时间到，关闭5低真空阀，再打开4高真空阀，利用2扩散泵和3预抽泵对1真空室抽高真空。正常额话，该系统的真空度可达到10-3至10-4Pa级。