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气体质谱仪/在线质谱仪

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气体质谱仪/在线质谱仪气体质谱仪,多用于生产研究之中来监测气体和进行过程分析。气体质谱仪应用的领域十分广泛:如真空科学工业中加速器、高真空、超高真空系统和器件中的气体分析,航天航空工业中燃料箱、发动机、密封仓安全检漏、多种气体分析;电子工业中真空镀膜、微波管、彩色显像管等生产中的气体分析,环境监测中车载(船载)质谱监测、土壤、水质、空气质量分析以及表面科学分析、痕量气体分析、催化反应监测、石油化工、冶金、热重仪器的气体分析等多个方面。的工作流程图气体样品→进样系统→离子源→质量分析器→离子检测器→数据处理及控制系统,离子源、质量分析器、离子检测器必须在真空下工作(10–4pa)。

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