韩一镀膜机做完等离子后硅靶的真空度一直不够，怎么解决

可以查查不做等离子也是一样吗？重新来一遍抽气过程真空度怎样？我觉得应该至少是从你说的这次等离子后有地方漏气，只能检漏，查找漏点；当然，粗抽泵、分子泵等泵也可以能有问题，但几率相对较小。

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