扩散泵开始抽高真空后真空度上升很慢

cdzxkj 2010-07-31

真空室是1.5立方米，配600扩散泵，原来抽到0.05pa只要3分钟，现在需要20分钟，不是突然变成这样的，是非常缓慢的一个过程。真空度在2pa以下时再上升就非常慢了！求教了

全部评论

首先检查真空室的密封
2，关闭所有阀门，测试泵本身抽真空能力
3 更换真空泵油
4 更换密封垫

15 0 2018-04-22 0条评论回复

真空泵问题，或者漏气

15 0 2010-08-01 0条评论回复

我是从事真空泵油的，设备方面不是很清楚。但是如果油的品质不够好的话，是会出现这样的情况的，随着气温的变化是有可能出现这样的情况的。不知道你配套的是什么型号的扩散泵油了。

13 0 2010-08-02 0条评论回复

扩散泵泵油不够，冷却水，水温过高，都会使扩散泵效率达不到..

11 0 2010-08-02 0条评论回复

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