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卷饶式真空镀膜机真空度不够是怎么回事

KANGXIANG33 2010-07-12
我检查过设备都没漏气,在低真空时候还很正常 但一开高真空就不行了只能达到很底的真空度,
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kucdaswt
这个问题你得分部去查下,如果在没开精抽阀之前速度慢那就是炉体和管道漏气了,你现在是精抽高真空上不去,首先检查下维持泵是否常,油是否清澈还是变成乳白色了,如果变色那就是扩散泵里有问题,把油换了。维持阀门是否已坏了,还有就是炉体和扩散泵之间是否有漏气,当然扩散油也可能有问题,(天气热冷却水得做好),拆开扩散泵放油,腔内清洗砂磨烘干,放入新扩散泵油,密封好后开前置阀抽几分钟,再加热试下是否快点,一般是多镀几天就快了!如果第二天开维持泵时有油或油烟排出,那就是扩散泵漏气了,检查下!
4 0 2010-07-14 0条评论 回复
陌陌1020le
你那采用的是什么抽真空设备。Z低能到负几。如果性能OK的话
你可以尝试下升温烘烤下,真空度应该就下去了
16 0 2010-07-17 0条评论 回复
lprsobcw25843
前几天我也遇到过 其实就是抽气不行了 把扩散泵维护下 你会发现油都干了。。。
5 0 2010-07-13 0条评论 回复
yahooS60
有可能是温度还不够
8 0 2010-07-13 0条评论 回复
qgfjfyoaa
如设备不漏气的话,你的扩散泵有问题,如泵油量少不够,或低真空阀门损坏串气等因素而造成.
20 0 2010-07-13 0条评论 回复
sixufeifei
这个跟你配置的真空泵有关系。
如果真空泵抽速太小就会影响真空度。
2 0 2012-10-08 0条评论 回复
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