射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题？

应该是烧结的靶材中氧含量偏少，并且溅射是不存在氧气氛围，使得溅射出来的薄膜中氧含量进一步减少造成的。薄膜颜色反应了一定的薄膜厚度。这是由于薄膜干涉而造成的。薄膜干涉的颜色与薄膜的厚度和折射率相关，薄膜颜色不同的主要原因是薄膜厚度不均匀而产生的。

烧结陶瓷靶材一般要采用热压法，你做靶材时没有用高压，靶材的致密度不够，当然做不出好的薄膜了。

透过率应该是因为氧含量和膜后的影响。可能是薄膜中的氧含量还没提上来吧。楼主对靶材和薄膜测试一下氧含量不就知道了。薄膜干涉不但表现在直视时的颜色（如：肥皂泡的颜色就是这个原理），也会影响透过率（表现在透过率曲线是震荡曲线，根据震荡峰位可以模拟出薄膜的厚度和折射率。楼主自己百度一下相关资料吧。）。控制薄膜可以控制薄膜的颜色。但楼主所说的淡黄色应该与薄膜吸收有关。