TMC STACIS III主动隔振平台系统

STACIS®III是zuixianjin的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和zuixianjin的压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离。

       最初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离， STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，它广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

       Stacis III包括一个新型改进的数字控制器—DC-2020。它搭载zuixin高效的双核处理器，前后面板上都配备以太网和USB串口，新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。

       Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例，对于大部分振动敏感仪器来说都是最理想的振动消除系统。

优势：

 STACIS相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同，STACIS可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。

   设计有独特的通信串口和专有high-force压电技术导致其具有大的主动带宽0.6赫兹到150赫兹，以及从2Hz开始主动振动消除性能可达到90%。