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【应用速递】基于STACIS®的主动压电隔振系统应用案例

青岛森泉光电有限公司 2020-10-20
文档简介为什么选用主动的隔振控制系统?
优越的低频隔振效率。(具体效率请见红蓝隔振曲线图)
主动“Hard-Mount”架构提供了比被动气浮隔离器快10倍的稳定时间。(黑色稳定速度曲线图)
避免气浮系统重力不稳定的风险。
可以与任何设备自带的隔离系统“堆叠串联”。
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