TMC STACIS III隔振系统

文档简介 STACIS®III是Zxian极n的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和Zxian极n的压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离。