如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量？

【概述】

【实验/设备条件】 

STACIS主动隔振系统

振动对高级浸没式光刻的影响 

没有使用STACIS®

在原基座的弹性体或刚性版本上获得Zjia模式

使用STACIS®

STACIS主动隔振实现的模式

        所示的45纳米线宽测试图形是由Amphibian Systems公司生产的先进浸入式光刻系统生产的，安装在德克萨斯州奥斯汀的SEMATECH公司。图像之间的差异是由于地震振动对光刻过程的影响。所显示的图像是使用扫描电子显微镜获得的。

        该工具Z初安装在钢和混凝土基座上，基座采用钢支撑结构，其中包含商业弹性体隔振垫。这个基座没有达到工具的振动标准，模式质量很差。

        为了减少振动，弹性体垫块被有效地用金属垫片短路，从而导致更刚性、非共振结构，但这几乎没有改善。振动标准不符合任何版本的基座和模式，质量仍然很差。

        基座支撑结构被移除，并安装了STACIS®主动压电消振系统。STACIS基座被直接放置在现有的底座下面。将工具支撑在STACIS上，显著降低了整体地震振动水平，并达到了制造商的地面振动规范。更重要的是，STACIS在模式质量方面提供了显著的改进。

不同配置的振动测量。工具规格:0.125 mils /s RMS。垂直轴数据显示。

绿色：弹性体减振

白色：短路弹性体减振

蓝色：STACIS减振        

 *由Sematech提供的照片、图像和振动数据。

☆关于TMC☆

      TMC为纳米技术设计和制造先进的建筑地面隔振系统。TMC隔离器支持超精密测量、仪器和制造。我们继续领xian于行业先进的主动、惯性振动消除系统，具有压电驱动器和数字控制器。我们的无源产品范围从简单的、桌面隔离显微镜底座，到几乎任何尺寸的光学表系统。
      TMC产品让光子学、半导体制造、生命科学、药物发现和纳米技术等领域的超精密研究、测量和制造成为可能。我们的产品是在先进的、垂直一体化的制造设施中设计和制造的，并以提供优质服务的客户承诺为后盾。
      TMC是阿美特克超精密测量部门成员，阿美特克是电子仪器和机电设备的突出者，年销售额约为50亿美金。为材料分析、超精密测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与使用控制、精密运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。

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