Diener PICO 等离子清洗机

控制系统

半自动型

PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

体积

4~15L

真空腔室

圆形不锈钢件，配有盖子
（大约Φ 150 mm, 长 320 mm 或者长 600 mm）或者

矩形不锈钢件，配有铰链的门
（约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）

配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门
（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）

配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）

配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）

电极

单层或多层

RIE

样品支架

（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

气源

针型阀

质量流量控制器 (MFCs)

压力计

Pirani

Baratron（适用于腐蚀性气体版本）

计时器

数字型

高频电流发生器

40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W

2.45 GHz: 功率 0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

KASHIYAMA

电源

台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位