低压等离子技术和常压等离子技术的区别

上海尔迪仪器科技有限公司 2021-09-30

文档简介低压等离子技术

对于低压等离子技术，气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由此，等离子材料表面可以被有效的改变。其效应可以分为以下三类：

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