椭偏仪

椭偏仪利用偏振光测量薄膜或界面参量，通过测量被测样品反射(或透射)光线偏振状态的变化未获得样品参量，是一种光、机、电、计算机等多学科综合的、用于薄膜无损分析的智能化仪器。椭偏仪主要用于测量光学膜层厚度和光学常数、多层膜厚度和光学常数、镀碳磁盘的碳层厚度和光学常数以及润滑层的厚度和表面粗糙度、各种半导体及其氧化物的成分、化合物半导体的成分、梯度膜层和透明薄膜的折射率和厚度等。