光谱椭偏仪

SE-L光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪，集众多科技ZL技术，采用行业前沿创新技术，配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。SE-L光谱椭偏仪广泛应用于半导体薄膜结构：介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜，激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件、平板显示、光伏太阳能、功能性涂料、生物和化学工程、块状材料分析等领域。1、高精度自动测量光学椭偏测量解决方案
2、全自动变角、调焦等控制平台，一键快速测量
3、软件交互式界面配合辅助向导式设计，易上手、操作便捷
4、丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力
5、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)
6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集
7、全自动椭偏测量技术，基于行业领先电机控制技术，全自动调整测量角度，高精度控制样件台，实现样件快速自动对准找焦
8、颐光ZL技术确保在宽光谱范围内，提供优质稳定的各波段光谱
9、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料