光谱椭偏仪

SE-Mapping光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，采用行业前沿创新技术，配置全自动Mapping测量模块，通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。SE-Mapping光谱椭偏仪广泛应用OLED，LED，光伏，集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。1、全基片椭偏绘制化测量解决方案
2、支持产品设计以及功能模块定制化，一键绘制测量
3、配置Mapping模块，全基片自定义多点定位测量能力
4、丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力
5、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)
6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集
7、具备全基片自定义多点自动定位测量能力，提供全面膜厚检测分析报告
8、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料