扩散泵

到目前为止，获得高真空的zui为主要以及zui为普遍的工具之一，即为扩散泵，一般指的是油扩散泵。扩散泵为一种次级泵，其需要机械泵来被用作前级泵。油扩散泵为一种真空泵