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扩散泵历史

扩散泵

到目前为止,获得高真空的zui为主要以及zui为普遍的工具之一,即为扩散泵,一般指的是油扩散泵。扩散泵为一种次级泵,其需要机械泵来被用作前级泵。油扩散泵为一种真空泵,其通过低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气,1-4e到1-5e帕为此种泵的极限真空,1-e到1-4e为工作压力范围。几十至十几万升/秒为抽速范围。油扩散泵为高真空获取的主要设备,其在真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中得到了非常广泛地应用。


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扩散泵历史

1915年,德国物理学家W.盖所研究的扩散泵报告被发表了。


1916年,有冷却系统位于泵壁的所谓冷凝泵由美国人I.朗缪尔制成。这些泵通过汞蒸气作为工作介质能够使1-5e帕真空获得。


1928年,高沸点的石油衍生物被英国人C.D.伯尔奇发现。


1936年,人工合成油由C.D.希克曼等人制成。在室温下,这两种油均有着相当低的饱和蒸气压。从而将汞替代掉,作为扩散泵的工作液。


由此以后,油扩散泵慢慢地广泛地应用于高真空领域的工业生产和科学试验中,并且使高真空技术的基础得以奠定。从60年代开始,油扩散泵新的发展又开始了。


扩散泵主要改进

1、结构的改革

新型油扩散泵在泵口法兰不发生改变以及不过分将泵的外形尺寸增大的条件下将泵腔的断面在法兰下部突出地扩大,可以增加两成到四成的抽气速率。比如将液氮冷却的大直径挡油帽与一个大直径扩散喷嘴等装设在此。一般泵的抽气速率,该泵也有,并且泵的返油彻底地克服了并且比1-8e帕要低清洁超高空能够被获得。所以,在清洁超高真空的工业生产和科学试验中,油扩散泵又取得重要的地位。


2、放气量非常小的不锈钢被采用来作为泵的材料。


3、泵的工作液采用有着较低的饱和蒸气压以及较好的热稳定性的油,如聚苯醚和硅油。


2007-07-30
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