扩散泵的演变

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵的演变

随着我国科技人深入地研究油扩散泵以及对实际使用问题的解决，这次过程中慢慢地完善了泵系列的演变。比如，在泵的抽气速率指标可以有一点下降被允许，通过对泵芯各级间距的合理调节，能够使泵的高度降低，从而使空间高度减小，于是乎，直腔矮泵就出现了。通过实践发现，在泵口尺寸保持不变的情况下，将泵腔尺寸进行增加，平均能够提高30%甚至50%的抽气速率。和直腔泵的抽气速率相比，1200mm的凸腔泵提高了20%，因为有着较为明显的提su效果，凸腔泵系列化相当的快，并且变成了油扩散泵的主流产品，在各类真空应用设备中得到了十分广泛的应用。随着半导体管行业的发展，洁净真空的要求被提了出来，必须对泵液返流率进行严格的限制，甚至提出无油真空的环境要求，所以想要问题解决，必须使泵本身的返流率降低并且使防返油装置得到有效合理的配置。所以凸腔低返油泵系列由此产生，该类泵的泵腔、泵腔的设计明显的不同于凸腔泵，设计参数对原有的选择范围实现了突破，并不仅是简单地往泵腔内的结构中放置水冷挡油帽。

根据实际情况表面，和预期的效果相比较，凸腔低返油泵依然存在明显的差距，改进太多需要更进一步。油扩散泵在1-4e到1-2e帕的范围的抽气速率相当稳定。压力比1-e帕高时抽气速率有着非常大的降幅，形成的拐点相当的明显，使得油扩散泵与前级泵之间的衔接不是很好，使得抽气时间被延长了，新生的宽区域泵在不对原有的性能指标进行改变的状况下，对泵在高压力区域的抽气速率有所提高，与此同时，使泵的临界前级压力得到提高，明显增大了抽气效率。