扩散泵性能质量的提高

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵性能质量的提高

1、加热功率需要可以调节，需要使泵能够快速地启动以及快速地冷却停止，使设备的运转率

2、为了便于用户选用，各种被抽气体的性能曲线被给出，对一些气体的压缩比建议被给出。

3、运行以及故障的诊断和运行采用微机进行控制。

4、需要选择放气率质量较高以及较小透气率的橡胶圈置于密封处。

5、各种泵的返油率限定值给出，使得返油率进一步降低，使得油扩散泵的用途得到扩大。油扩散泵的工作压力范围宽不高于1到1-5e。相比于其它高真空泵，其有着较高的可靠性以及较低的成本，仅有少数部件需要维修，运动部件不位于泵内。工作中能够对加热器进行更换。1-9e至1-10eTorr为硅油或聚苯醚的蒸汽压。在室温状态下，10-10Torr或更低的压力能够通过合适的挡板或者阱的使用而获得。

6、到目前为止，国内有许多生产扩散泵的厂家，型号、尺寸不统一，大泵越做越大，然而却很少生产小泵。更何况也没有对泵的全面性能的考核指标。

7、泵在结构方面：需要对尺寸进行缩小，对重量进行降低，使零件的加工精度得到保证，能够使级数增加，使在4-e时的抽气量得以提高，对几种常用的被抽气体的抽气量被给出。

8、对附件进行增加。例如对挡油帽，过热保护装置进行设置。监控出口压力。

9、对油量的zui大值和zui小值和耗油量进行规定。需要对油位进行观察来为用户及时注油提供方便。泵油变质情况通过观察窗进行查看从而为及时更换提供便利。

10、将合适的前级泵的容量给出。

返油问题为扩散泵的缺点，挡油帽和冷阱及正确操作。其返油率能够下降到每两分钟1-5e毫克/厘米的地步。