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StacisIIIC是TMC的基于标准StacisIII设计研发的主动压电振动消除系统的紧凑小型版本。它在降低高度时具有同样出色的隔振性能。
在没有或非常低振动的地板面情况下,Stacis III是**的选择,但有时标准Stacis III系统的高度会使电镜设备的总高度过高。
在由3个隔振器组成的配置中,隔振器高度比标准Stacis III高度低大约60%。在具有多余3个隔振器的系统中,高度将介于60%和70%之间,具体取决于有效负载。详情请参见以下规格。
模拟VC-C(500uin./s, 12.5 um/s RMS)振动测试,有效负载为4500lb(2045kg)