大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术3-2

3.2 不同转盘转速对磨抛速率的影响
选用粒度为200/230 和140/170 的金刚石粉在平盘上分别以30r/min35 r/min40r/min
的转速研磨2 小时，不同转速对磨抛速率的影响如图2 所示
图2 不同转盘转速对磨削量的影响
Fig. 2 the effect of the different rotational speeds on the polishing speed
从图2 可以看出，颗粒为140/170 的金刚石粉研磨时，速度越大使得磨削速率越小，
跟通常的观点有些不同试验现象表现为，在速度不断增加的时候，金刚石粉容易向外移
动，Z终被摔出研磨盘这是因为转速越大，所需的向心力越大，而磨盘的镶刻力不能提
供足够大的向心力，从而金刚石粉容易被摔出，不能充分利用金刚石粉的磨削力，从而影
响磨削效果颗粒为200/230 的金刚石粉研磨时，在35 r/min 时有个非常的大磨削量，也
就是说在这个转速时磨削效果**试验现象表现为，在30 r/min 时，金刚石粉容易因载
物盘的自转而向磨盘内聚集，影响了磨削效果；而40r/min 时，金刚石粉因为向心力向磨
盘外移动，Z后被摔出，也没有起到足够磨削的作用所以，可以初步估计颗粒为140/170
的金刚石粉磨盘转速在25～30r/min 之间时磨削效果**，颗粒为200/230 的金刚石粉在磨
盘转速35r/min 时磨削效果**