大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术3-3

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大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术3-3

沈阳科晶自动化设备有限公司更新于：2008-10-10

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3.3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响通过之前的研究结果可以知道，在同一个转速对不同的金刚石粉颗粒的磨削能力进行评价是不合适的，因为每一种颗粒都会对应一个合适的转速所以选用颗粒为200/230 和 140/170 的金刚石粉在转速分别为30r/min35 r/min40 r/min 时进行研磨2 小时选用颗粒为140/170 和100/120 的金刚石粉在转速为20 r/min30 r/min 时进行研磨2 小时，不同金刚石粉的颗粒尺寸对磨削量的对比图如图3 所示 0 5 10 15 20 25 30r/min 35r/min 40r/min 200/230 140/170 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20r/min 30r/min 140/170 100/120 图3 不同金刚石粉颗粒尺寸对磨削速率的影响 Fig.3 The effect of the different grain sides of the diamond powder on the polishing speed 从图3 可以看出，不同的金刚石粉颗粒尺寸对应有一个合适的转速，在这个转速下的Zda磨削速率才能体现出金刚石粉的磨削能力根据之前的数据以及试验现象可以估计 200/230 的颗粒在35r/min 时有Zda磨削速率，140/170 的颗粒在25～30r/min 会产生一个Z 大的磨削量；100/120 的颗粒将在20～25r/min 之间产生一个Zda的磨削量，因为试验数据显示在10r/min 时磨削量下降且金刚石粉易内聚，20r/min 时金刚石粉的分布比较均匀根据文献[13]报导，金刚石粉对金刚石自支撑膜产生的磨削作用会有一个极值，也就是说同粒度的金刚石粉只能达到一定的磨削量，达到之后时间增长或者转速增大，都不能改善磨削效果而在本试验中，不同的金刚石粉颗粒的Zda磨削速率都在12m/h 左右，所以不同的金刚石粉颗粒需要找到其本身**的匹配转速，达到之后的磨削能力相差不大 UNIPOL-820金相研磨抛光机

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