电子探针/X射线微区分析仪

电子探针/X射线微区分析仪是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器，可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。电子探针/X射线微区分析仪可以对试样中微小区域的化学组成进行定性或定量分析。可以进行点、线扫描、面扫描分析。还能全自动进行批量定量分析。