岛津EPMA-8050G场发射电子探针

[性能特点]

● 卓越的空间分辨率

电子探针可达到的级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV），分析条件下No.1的二次电子分辨率。

（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

● 大束流超高灵敏度分析

实现3.0μA（加速电压30kV）的束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑。

● 高性能X射线谱仪

秉承岛津电子探针颇具优势的52.5°X射线取出角。采用4英寸罗兰圆半径的分光晶体兼顾高灵敏度与高分辨率。可同时搭载5通道高性能X射线谱仪。分析性能更胜一筹。

● 全部分析操作简单易懂

全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。

◎实现微区超高灵敏度分析的先进技术

1 高亮度肖特基发射体

岛津场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更

大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳

定大电流。

2 EPMA专用电子光学系统

电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜

形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可

变光阑透镜来形成交叉点的（：第4595778号）。简单的透镜结

构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定合适的打开角度，将电子

束压缩到细。当然是不需要更换物镜光阑的。

3 超高真空排气系统

电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2

级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到小，以控制流入中

间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。

4 高灵敏度X射线谱仪

岛津场发射电子探针多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。

52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线

的吸收，实现高灵敏度的分析。

[应用举例]

1.   岛津场发射电子探针EPMA-8050G检测：无铅焊锡焊料中Ag与Cu的分布

对无铅焊锡焊料中大量含有Ag的区域进行面分析的数据。（加速电压：10kV；照射电流：20nA）
Ag的X射线像中颗粒形状与BSE像（COMPO）的颗粒形状*。直径约0.1μm的Ag颗粒也清晰可辨（红色虚线圈出）。同时可确认Cu颗粒的存在（黄色虚线圈出）。