场发射俄歇电镜

JAMP-9510F这款场发射俄歇电镜具有世界上最高的空间分辨率：最小束斑直径3nm（二次电子图像）和8nm（俄歇电子图像）。使用多通道探头的新的半球静电能量分析器（HAS）优化了俄歇分析，适合化学态分析。中性离子枪可用于绝缘材料的俄歇分析。样品台可装直径达95nm的样品。并且此仪器可扩展为UHV-SEM。

JAMP-9510F  场发射俄歇探针

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其主要特点：

1. 高灵敏度元素面分布和不同化学态的分析
   

2. 微区化学态分析

3. 强大的绝缘体分析功能