青岛森泉光电有限公司
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TMC STACIS主动隔振器在抬高的钢支架上的隔振应用

2023-05-18414
行业应用: 电子/电气/通讯/半导体 综合
方案优势

【概述】

自设计系统。

钢支架支撑:系统放置在客户自行制作的钢支架上。

隔振器的锁定:案例中要求对上下表面进行隔振器锁定,我们不建议对隔振器的顶部与客户台面之间进行锁定,但提供了隔振器与钢支架的锁定方案。


【实验/设备条件】

待隔振设备:用户自设计大理石系统

底座是钢架,钢架上放3个stacis  ,stacis上放的是负载

质量:1500kg


针对以上情况,森泉经过技术工程师和厂家评估提出如下要求:

1.钢支架需要灌浆固定到混凝土地面上。

2.钢支架需满足如下截图中的平面度和刚度要求。

3.钢支架的First resonance必须>200Hz。

3.地面需满足如下截图中的刚度要求。

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系统方案配置:

21-030-02 Statics

主动隔振系统(3个中负载的支腿+控制器+其他配件)

System with 3 medium load isolators 900-2100 lbs (410-955 kg) capacity per isolator;

Active degrees of freedom:6;

Active bandwidth:0.6Hz-150Hz;

Passive natural frequency: 18 Hz vertical and horizontal;

Effective active resonant frequency:0.5 Hz;

Isolation at 1 Hz:40%-70%;

Isolation at ≥2 Hz:≥90%;

Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction):0.3 sec

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现场安装调试

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隔振器与钢支架之间的锁定

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【实验结果/结论】

TMC标准隔振性能:

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实际测量隔振效果(钢支架支撑对隔振效果有影响,但不明显)

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【仪器/耗材清单】

STACIS III                                                               STACIS® III控制系统

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